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微細加工機とは|微細加工機とミクロンオーダーの微細加工例、代表的なメーカーを解説

微細加工機とは|微細加工機とミクロンオーダーの微細加工例、代表的なメーカーを解説

更新日:
2021/01/20(2020/11/25 公開) 編集者:甲斐 智
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微細加工機は、NC工作機械の種類のひとつ。
マシニングセンタ加工精度を極限まで追求した、超精密加工機です。

ミクロン〜サブミクロンの高い加工精度で、精密レンズや光学金型など「微細加工」の分野で使われています。

基本的な構造はマシニングセンタとおなじですが、リニアモータや徹底した温度管理システムを搭載し、ナノミクロン(nm:100万分の1ミリ)の再現性を発揮します。

微細加工機とは|コメント
 微細加工では、メイドインジャパンの加工機が高いシェアをもっています!

微細加工機の構造

微細加工は「温度変化」や「外部環境」の影響を受けやすいため、恒温室での加工や振動対策がかかせません。
微細加工機には、精度を保つためのさまざまな装置やシステムが搭載されています。

(仕様は、メーカーや機種によって異なります)

微細加工機とは|微細加工機の構造

微細加工機 – リニアモーター駆動)

各軸(X/Y/Z)を超精密・高速に制御するため、リニアモーターによる駆動方式を採用。

微細加工機 – 油静圧案内(ガイド)

テーブル/サドル/主軸などの運動部には、非接触の油静圧案内(ガイド)を採用。
摩擦抵抗が小さく、高い運動精度が特徴です。

細加工機 – 油温コントローラ

クーラントや作動油の温度を、1/100℃単位で制御。
長時間加工による精度変化や、機械の熱変異を抑制します。

微細加工機 – 除振システム

振動をコントール(除振/制振)することで、高い位置決め精度を発揮。
振動対策には、設置スペースの基礎作りからはじめることもあります。 

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微細加工機の用途

微細加工機とは|微細加工機の用途
引用元:富士フイルム|微細加工品 受託製造サービス

微細加工機では、マシニングセンタではできない「真円度1ミクロン以下」の精密加工や、「1ミクロンピッチ」の微細溝加工が可能。
研磨加工と同レベルの「鏡面加工」も実現します。

光学機器での用途

微細加工機とは|光学機器での用途
  • 超小型レンズの加工
  • 光学フィルムの加工
  • 非球面レンズ金型の加工
  • マイクロレンズアレイ金型の加工

半導体での用途

微細加工機とは|半導体での用途
  • 電子部品用金型の加工
  • 液晶ディスプレイ用金型の加工
  • マイクロ流路チップの加工
  • 微細コネクタや冷却フィンの加工

微細加工機の代表的なメーカー

微細加工機とは|微細加工機の代表的なメーカー

カメラや半導体の小型化にともない「高い微細加工技術」がもとめられるなか、日本メーカーの微細加工機が世界中で活躍しています。

〈微細加工機の関連メーカー〉

(株)ソディック リニアモータ駆動ナノマシニングセンタ など
高島産業(株) 超小型微細加工機 など
(株)東洋機械製作所 微細精密横型加工機 など
(株)ナガセインテグレックス 超精密微細加工機 など
碌々産業(株) 超高精度高速微細加工機 など
◎五十音順・敬称略
※メーカーについて 本サイトの独自調査によりピックアップしています。
特定のメーカーをPRしたり、推奨するものではありません。
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この記事(微細加工機)の編集者

甲斐 智(KAI Satoshi)

甲斐 智(KAI Satoshi)

1979年 神戸生まれ
多摩美術大学修了後、工作機械周辺機器メーカーの販売促進部門
14年以上に渡り、工作機械業界・FA業界のWebマーケティングに携わる
技術専門誌への寄稿など
科学技術振興機構「J-GLOBAL」登録
Twitter:@monoto_kai

株式会社モノト 代表
一般社団法人日本機械学会 特別員
東京商工会議所(東商 社長ネット)

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