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微細加工機とは？微細加工機とミクロンオーダーの微細加工事例

微細加工機は、NC工作機械の種類のひとつ。
マシニングセンタの 加工精度を極限まで追求 した、超精密加工機です。

ミクロン〜サブミクロンの高い加工精度で、精密レンズや光学金型など「微細加工」の分野で使われています。

基本的な構造はマシニングセンタとおなじですが、リニアモータや徹底した温度管理システムを搭載し、ナノミクロン（nm：100万分の1ミリ）の再現性を発揮します。

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この記事の目次

微細加工機の構造

微細加工は「温度変化」や「外部環境」の影響を受けやすいため、恒温室での加工や振動対策がかかせません。
微細加工機には、精度を保つためのさまざまな装置やシステムが搭載されています。

（仕様は、メーカーや機種によって異なります）

各軸（X／Y／Z）を超精密・高速に制御するため、リニアモーターによる駆動方式を採用。
駆動部に接触面がほぼないため、送り速度や位置精度が非常に高いことが特徴です。

テーブル／サドル／主軸などの運動部には、非接触の油静圧案内（ガイド）を採用。
摩擦抵抗が小さく、高い運動精度が特徴です。

クーラントや作動油の温度を、1/100℃単位で制御。
長時間加工による精度変化や、機械の熱変位を抑制します。

振動をコントール（除振／制振）することで、高い位置決め精度を発揮。
振動対策には、設置スペースの基礎作りからはじめることもあります。　

引用元：富士フイルム｜微細加工品受託製造サービス

微細加工機では、マシニングセンタではできない「真円度1ミクロン以下」の精密加工や、「1ミクロンピッチ」の微細溝加工が可能。
研磨加工と同レベルの「鏡面加工」も実現します。

また非球面レンズ金型の加工には、「精密非球面加工機」などの専用の微細加工機も使われています。

カメラや半導体の小型化にともない「高い微細加工技術」がもとめられるなか、日本メーカーの微細加工機が世界中で活躍しています。

◎あいう順・敬称略

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