エキシマレーザーとは｜微細加工に使われる光源
- 更新日：
- 2025/09/29 （公開日： 2025/09/29 ） 著者： 甲斐 智
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エキシマレーザー（えきしまれーざー）は、ハロゲンなどの混合ガスを媒質に用いた高エネルギーの紫外線レーザーです。
波長が短いため微細加工に優れ、金属だけでなく樹脂やガラスの加工にも適しています。
CO2レーザーと異なり、照射周囲に熱がほとんど発生しないため、熱影響を抑えた非接触加工が可能です。
半導体パネル製造や液晶加工、さらには医療分野のレーザーメスなどでも利用され、精密かつ熱に弱い対象への加工に強みを発揮します。
- 参照元コラム
- レーザー加工とは？種類や仕組み、メリットを解説
エキシマレーザーを要約すると…
- ハロゲン混合ガスを媒質とする紫外線レーザー
- 熱影響を抑えた微細加工に最適
- 半導体・液晶製造や医療機器で活用
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この用語の監修者
- 甲斐 智（Satoshi Kai）
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1979年 神戸生まれ、多摩美術大学修了後、工作機械周辺機器メーカーに入社。
2020年に株式会社モノトを設立。長年に渡り工作機械業界・FA業界のWebマーケティングに携わる。
researchmap ID：R000028669
J-GLOBAL ID 202101006017437323 - 所属
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- 株式会社モノト 代表
- 一般社団法人日本機械学会 特別員
- 公益社団法人精密工学会 賛助
- 東京商工会議所
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