化学蒸着法とは|CVDによるコーティング技術
- 更新日:
- 2025/09/29 (公開日: 2025/09/29 ) 著者: 甲斐 智
- 関連タグ:
- 材料・処理の用語|
化学蒸着法(かがくじょうちゃくほう)は、CVD(Chemical Vapor Deposition)とも呼ばれ、気体原料を化学反応させて基材表面に薄膜を形成する方法です。
1000℃近い高温で成膜する熱CVDでは、密着性に優れた膜を得られる一方、高温の影響で母材の寸法精度や強度がやや低下する制約があります。
粗加工や金型、治具など密着力を必要とする用途に適しており、切削工具の寿命延長にも有効です。
プラズマCVDや光CVDなど、応用に応じて多様な手法が存在します。
- 参照元コラム
- コーティングとは?種類と特徴を解説
化学蒸着法を要約すると…
- 気体原料を反応させて膜を形成
- 高温処理で高密着性を実現
- 母材の制約はあるが工具寿命を延ばす




