ノギス感覚のハンディプローブ三次元測定機で品質検査を効率化

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この改善事例のポイント

1. 三次元測定機による品質検査のお悩み
2. ハンディプローブ三次元測定機で、品質検査の効率化が実現
3. 三次元測定の効率化の提案製品

改善前三次元測定機による品質検査のお悩み

半導体プロセスの高度化で、半導体製造装置部品に求められる精度もこれまで以上に上がっています。
三次元測定機による部品の品質検査は、測定室へ移動して行いますが、三次元測定機を操作できる作業者が限られることと、検査の数が増えていることもあり、測定の順番待ちが発生…　生産性が落ちてしてしまうことがありました。

〈改善前のお悩み〉

改善後ハンディプローブ三次元測定機で、品質検査の効率化が実現

三次元測定機による精密測定は、温度の影響を受けないよう、20℃に管理された測定室での測定が欠かせんません。現場では測定の順番待ちだけでなく、測定室への移動やキャリブレーションの手間も課題となっていました。そこで採用されているのが、キーエンスの「ハンディプローブ三次元測定機」です。
ハンディプローブ三次元測定機は、現場のオペレータでもノギス感覚で使える、ハンディタイプの三次元測定機。どこでも三次元測定ができるため、測定室への移動や測定待ちが発生しません。
加工ワークを工作機械から降ろすことなく測定できるため、追加工による精度の追い込みにも最適です。

〈改善後の効果〉

今ある三次元測定機との併用もおすすめ
半導体の微細化によって、半導体製造装置に使われる部品にも精密な品質検査が求められています。
今お使いの「三次元測定機」を使いつつも、生産ボリュームに合わせて、現場で三次元測定作業を補うことで、生産性が向上します。（編集部）

三次元測定の効率化の提案製品