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ノギス感覚のハンディプローブ三次元測定機で品質検査を効率化

ノギス感覚のハンディプローブ三次元測定機で品質検査を効率化

更新日:
2023/11/24 (公開日: 2022/12/25 ) 著者: 甲斐 智
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改善事例
     

改善前三次元測定機による品質検査のお悩み

半導体プロセスの高度化で、半導体製造装置部品に求められる精度もこれまで以上に上がっています。
三次元測定機による部品の品質検査は、測定室へ移動して行いますが、三次元測定機を操作できる作業者が限られることと、検査の数が増えていることもあり、測定の順番待ちが発生… 生産性が落ちてしてしまうことがありました。

〈改善前のお悩み〉

  • 三次元測定機の順番待ちが発生
  • 精度の高いワークを効率よく測定したい

改善後ハンディプローブ三次元測定機で、品質検査の効率化が実現

三次元測定の効率化について|ハンディプローブ三次元測定機による、現場での三次元測定の例
ハンディプローブ三次元測定機による、現場での三次元測定の例

三次元測定機による精密測定は、温度の影響を受けないよう、20℃に管理された測定室での測定が欠かせんません。現場では測定の順番待ちだけでなく、測定室への移動やキャリブレーションの手間も課題となっていました。そこで採用されているのが、キーエンスの「ハンディプローブ三次元測定機」です。
ハンディプローブ三次元測定機は、現場のオペレータでもノギス感覚で使える、ハンディタイプの三次元測定機。どこでも三次元測定ができるため、測定室への移動や測定待ちが発生しません。
加工ワークを工作機械から降ろすことなく測定できるため、追加工による精度の追い込みにも最適です。

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〈改善後の効果〉

  • 加工したその場で三次元測定ができる
  • 測定待ちがなくなり生産性が向上
三次元測定の効率化について|今ある三次元測定機との併用もおすすめ
今ある三次元測定機との併用もおすすめ
半導体の微細化によって、半導体製造装置に使われる部品にも精密な品質検査が求められています。
今お使いの「三次元測定機」を使いつつも、生産ボリュームに合わせて、現場で三次元測定作業を補うことで、生産性が向上します。(編集部)

三次元測定の効率化の提案製品

製品情報
三次元測定の効率化について|ハンディプローブ三次元測定機〈XM-5000〉
測定機
株式会社キーエンス
ハンディプローブ三次元測定機〈XM-5000〉
※製品情報について 製品の最新情報については、必ず各メーカーの公式サイトよりご確認ください
掲載をご希望の企業様はこちらからご連絡ください

〈三次元測定の効率化の関連キーワード〉

株式会社キーエンス検査工程生産性向上計測・測定

この記事の編集者・プロフィール

甲斐 智(KAI Satoshi)
甲斐 智(KAI Satoshi)

1979年 神戸生まれ
多摩美術大学修了後、工作機械周辺機器メーカーの販売促進部門
15年以上に渡り、工作機械業界・FA業界のWebマーケティングに携わる
メーカーでは各種技術専門誌へ寄稿
文部科学省「学校と地域でつくる学びの未来」参加企業

2020年に「はじめの工作機械」を立ち上げ(はじめの工作機械とは

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