静電容量式変位センサとは｜電気容量で距離を測る仕組み
- 更新日：
- 2026/02/03 （公開日： 2026/02/03 ） 著者： 甲斐 智
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静電容量式変位センサ（せいでんようりょうしきへんいせんさ）は、センサ電極と導電性ワーク間の静電容量の変化を利用し、ナノメートルレベルの微小変位を測定するセンサです。
分解能に優れ、半導体ウェハの厚み測定や超精密ステージの変位監視など、極めて高い精度が求められる場面で力を発揮します。
ただし、水滴や油膜、塵などが測定誤差の原因となるため、クリーンな環境での使用やノイズ対策が重要です。
- 参照元コラム
- 変位センサとは？種類から選定のポイントまで解説
静電容量式変位センサを要約すると…
- 静電容量でナノレベルの変位測定
- 超高精度な計測が可能
- クリーン環境での使用が前提
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この用語の監修者
- 甲斐 智（Satoshi Kai）
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1979年 神戸生まれ、多摩美術大学修了後、工作機械周辺機器メーカーに入社。
2020年に株式会社モノトを設立。長年に渡り工作機械業界・FA業界のWebマーケティングに携わる。
researchmap ID：R000028669
J-GLOBAL ID 202101006017437323 - 所属
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- 株式会社モノト 代表
- 一般社団法人日本機械学会 特別員
- 公益社団法人精密工学会 賛助
- 東京商工会議所
- 立川商工会議所
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