高寿命のPCD小径ドリルでシリコンの小径・連続穴あけを実現

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この改善事例のポイント

1. シリコンの穴あけにおける加工時間のお悩み
2. PCD小径ドリルで、シリコンの連続穴あけが実現
3. シリコン加工の提案製品

改善前シリコンの穴あけにおける加工時間のお悩み

従来、半導体関用シリコンへの小径・連続穴あけには、ダイヤモンド工具が使われます。しかし、単結晶ダイヤモンドのドリルは切粉の排出がうまくできず、ステップ（工具を穴の入り口まで戻し、強制的に切粉を排出するプログラム）を入れる必要があり、加工に時間がかかっていました。

〈改善前のお悩み〉

改善後PCD小径ドリルで、シリコンの連続穴あけが実現

一般的に半導体用シリコンへの要求精度は年々上がっており、現場では9,000穴以上の連続穴あけが求められています。そこで採用されているのが、東京ダイヤモンド工具製作所の「PCD（多結晶ダイヤモンド）小径ドリル」です。
東京ダイヤモンド工具製作所では、高寿命のPCD小径ドリルを開発。ドリルにスパイラル溝を設けることでステップの回数を減らし、加工時間を短縮します。またシャープな切れ刃で高送りにも対応し、穴内面の加工品質も向上します。

〈改善後の効果〉

シリコン以外の用途にもおすすめ
本PCDドリルは、最適なPCD素材を選定することで高寿命を達成しました。シリコン以外にも、石英・各種ガラス材の加工におすすめです。（編集部）

シリコン加工の提案製品