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高寿命のPCD小径ドリルでシリコンの小径・連続穴あけを実現

高寿命のPCD小径ドリルでシリコンの小径・連続穴あけを実現

更新日:
2023/11/24 (公開日: 2022/09/09 ) 著者: 甲斐 智
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改善事例
     

改善前シリコンの穴あけにおける加工時間のお悩み

従来、半導体関用シリコンへの小径・連続穴あけには、ダイヤモンド工具が使われます。しかし、単結晶ダイヤモンドのドリルは切粉の排出がうまくできず、ステップ(工具を穴の入り口まで戻し、強制的に切粉を排出するプログラム)を入れる必要があり、加工に時間がかかっていました。

〈改善前のお悩み〉

  • シリコンの加工時間を短縮したい

改善後PCD小径ドリルで、シリコンの連続穴あけが実現

一般的に半導体用シリコンへの要求精度は年々上がっており、現場では9,000穴以上の連続穴あけが求められています。そこで採用されているのが、東京ダイヤモンド工具製作所の「PCD(多結晶ダイヤモンド)小径ドリル」です。
東京ダイヤモンド工具製作所では、高寿命のPCD小径ドリルを開発。ドリルにスパイラル溝を設けることでステップの回数を減らし、加工時間を短縮します。またシャープな切れ刃で高送りにも対応し、穴内面の加工品質も向上します。

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〈改善後の効果〉

  • シリコンの加工時間の短縮で、連続穴あけが実現
  • 穴内面の加工品質が向上
シリコンの連続穴あけについて|シリコン以外の用途にもおすすめ
シリコン以外の用途にもおすすめ
本PCDドリルは、最適なPCD素材を選定することで高寿命を達成しました。シリコン以外にも、石英・各種ガラス材の加工におすすめです。(編集部)

シリコン加工の提案製品

製品情報
シリコンの連続穴あけについて|PCD小径ドリル
工具
株式会社東京ダイヤモンド工具製作所
PCD小径ドリル
※製品情報について 製品の最新情報については、必ず各メーカーの公式サイトよりご確認ください
掲載をご希望の企業様はこちらからご連絡ください

〈シリコンの連続穴あけの関連キーワード〉

加工工程工具株式会社東京ダイヤモンド工具製作所生産性向上精度向上

この記事の編集者・プロフィール

甲斐 智(KAI Satoshi)
甲斐 智(KAI Satoshi)

1979年 神戸生まれ
多摩美術大学修了後、工作機械周辺機器メーカーの販売促進部門
15年以上に渡り、工作機械業界・FA業界のWebマーケティングに携わる
メーカーでは各種技術専門誌へ寄稿
文部科学省「学校と地域でつくる学びの未来」参加企業

2020年に「はじめの工作機械」を立ち上げ(はじめの工作機械とは

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